Schichtdickenbestimmung
Einrichtungen für zerstörungsfreie und zerstörende Schichtdickenbestimmungen stehen zur Verfügung:
Zerstörungsfreie Schichtdickenmessung
- von Cu-Schichten auf Leiterplatten
- von Kunststoffen und Eloxalschichten auf unmagnetischem Grundwerkstoff
- von galvanischen Schichten und Lackschichten auf Eisenwerkstoffen
Messmethoden
- magnetinduktiv (DIN EN ISO 2178)
- magnetisch (DIN EN ISO 2178) mit Wirbelstrom (DIN EN ISO 2360)
- elektrischer Widerstand (4 Spitzen)
- Röntgenfluoreszenz (in Einzelfällen)
Zerstörende Schichtdickenmessung
Nach geeigneter Präparation der Probe wird diese unter dem Licht- oder Rasterelektronenmikroskop betrachtet. Für die Auswertung wird in beiden Fällen eine PC gestützte Bildanalyse verwendet.
Dr.-Ing. Kerstin Kern
IMP Institut für Mikrotechnik und Photonik Projektleiterin und Fachverantwortliche Werkstoffprüfung
+41 58 257 34 08 kerstin.kern@ost.ch
