Equipment Beschichtung
Dünnschichttechnologien
- PVD Sputtertool BAS 450
- PVD Sputtertool G&S 550
- PVD Sputtertool Radiance SPM
- PVD Bedampfungsanlage BAK 600
- PECVD Oxford Instruments Plasmalab 100
Mikrogalvanik
- Rackplater RENA EPM 100R
- Tilt-Rotation-Plater RENA EPM 100T
- Fountain-Plater RENA EPM 100F
- Diverse Becken für nasschemische Vorbehandlungen