Ergebnisse: Die Studierenden haben die Herstellung, Montage und Prüfung des Luftstromsensors innerhalb von sieben Tagen praktischer Ausbildung erfolgreich abgeschlossen. Zusammen mit den Blended-Learning-Sitzungen bot dieses Seminar sehr wertvolle Einblicke für motivierte Studierende.
Danksagungen: Die Durchführung dieses Kurses wäre ohne die Unterstützung vieler Einzelpersonen und Institutionen nicht möglich gewesen. OST: Roman Willi vom IMES Institut für Mikrotechnik, Embedded Systems und Sensorik und Mathias Mächler vom IMP Institut für Mikrotechnik und Photonik widmeten ihre Bemühungen dem Sensorkonzept und der Prüfung sowie der Geräteherstellung. IBM Zurich Research Laboratory: Unterstützung beim Tempern der implantierten Wafer. Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf e.V. (HZDR): Der effiziente Implantationsservice, der vom HZDR kostenlos für dieses Masterseminar bereitgestellt wurde, wird freundlich anerkannt.